特征

  • 专为 5 kW 左右的标准半导体应用而设计
  • 优化的波纹管设计,适用于高功率操作
  • 优化的驱动系统,实现快速调谐
  • 频率范围高达 162 MHz
  • 相对于小尺寸的高电流能力
  • 尺寸统一,可随意互换
  • 标准化 42 mm 二次安装法兰
  • 可用作电机驱动和非电机驱动真空电容

应用场景

  • 半导体
  • 平板显示器 

技术规格

电容值 Cmax 范围
30 - 2000 pF
Upt 范围 3 - 20 kV

频率13.56MHz时最大电流IRMS

54 - 94 ARMS
电感值 ≤ 9 nH
直径  55, 64 and 75 mm
高度  133 - 142 mm
冷却系统 对流
是否符合RoHS标准 可选的

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