特征
- 专为典型半导体应用而设计
- 优化的波纹管设计，适用于高功率操作
- 优化的驱动系统，实现快速调谐
- 频率范围高达 162 MHz
- 相对于小尺寸的高电流能力
- 尺寸统一，可随意互换
- 标准化 42 mm 二次安装法兰
- 可用作电机驱动和非电机驱动真空电容
- 超寿命特性适用于选定的型号
技术规格
| 电容值 Cmax 范围 |
30 - 2000 pF |
| Upt 范围 | 3 - 37 kV |
|
频率13.56MHz时最大电流IRMS |
16 - 107 ARMS |
| 电感值 | ≤ 11 nH |
| 直径 | 55, 64, 75 mm |
| 高度 | 128 - 141 mm |
| 冷却系统 | 对流 |
| 是否符合RoHS标准 | 可选的 |