特征
- 设计用于标准的平板和高功率半导体（LCD、FPD）以及频率为2 MHz至60 MHz的其他应用场景
- 低电感
- 高电流能力，支持 10 kW 应用场景
- 支持水冷
- 坚固的结构
- 标准化的六孔安装法兰
- 可用作电机驱动和非电机驱动真空电容
应用场景
- 半导体
- 平板显示器
技术规格
| 电容值 Cmax 范围 |
100 - 2000 pF |
| Upt 范围 | 5 - 15 kV |
|
频率13.56MHz时最大电流IRMS |
45 - 136 ARMS |
| 电感值 | ≤ 7 nH |
| 直径 | 88 mm |
| 高度 | 114 - 189 mm |
| 冷却系统 | 对流，水冷 |
| 是否符合RoHS标准 | 可选的 |