特征

  • 专为各种半导体应用而设计
  • 流行并广泛使用
  • 小巧且经济高效的设计
  • 调谐范围广,最大从Cmax 到 Cmin 为175:1
  • 提供集成法兰和法兰安装
  • 低扭矩实现高调谐速度

应用场景

技术规格

电容值 Cmax 范围
170 - 1400 pF
Upt 范围 3 - 15 kV

频率13.56 MHz时最大电流 IRMS

55 - 64 ARMS
电感值 ≤ 11 nH
直径 55 mm
高度 103 - 150 mm
冷却系统 对流
是否符合RoHS标准 可选的

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