特征
- 专为各种半导体应用而设计
- 流行并广泛使用
- 小巧且经济高效的设计
- 调谐范围广，最大从Cmax 到 Cmin 为175：1
- 提供集成法兰和法兰安装
- 低扭矩实现高调谐速度
应用场景
- 半导体
- 平板显示器
技术规格
| 电容值 Cmax 范围 |
170 - 1400 pF |
| Upt 范围 | 3 - 15 kV |
|
频率13.56 MHz时最大电流 IRMS |
55 - 64 ARMS |
| 电感值 | ≤ 11 nH |
| 直径 | 55 mm |
| 高度 | 103 - 150 mm |
| 冷却系统 | 对流 |
| 是否符合RoHS标准 | 可选的 |
Basic-Con
调谐范围广
