Synertia® 射频功率传输平台
Synertia®
阻抗匹配系统
专为速度、准确性、精度和可重性而制造
Synertia® RFM 与 Synertia® RFG。具有强大的协同作用。精确的传感器和匹配网络中的增强程序算法可确保连续稳定的等离子体处理工序。
特征
- 可供用户访问的先进的产线量测数据
- 实时数据流：
可全面访问Synertia® RFG和RFM设备的所有可用数据，从而能够实时响应变化，加速工艺开发，及时进行失效分析
- 内置监测与诊断功能，助力预防性维护，并为更复杂的等离子体应用提供可操作的见解
- 集成Comet真空电容：
提供标准和定制的电容设计，配备先进技术，如Ultra Life驱动系统或适用于低频应用的XtraVolt功能
优势
- 通过实时信号处理和数据收集持续改进工序
- 卓越的工艺控制和可重复性，具有完全数字化和可定制的控制系统
- 增强的程序算法保证持续、稳定的射频等离子体
- 通过改进平均故障间隔时间和增强可靠性降低总使用成本
- 凭借射频专业知识、先进的建模/虚拟原型设计和广泛的射频程序电路，实现稳固的设计
技术参数
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匹配类型 |
单频 、双频 |
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适配的匹配拓扑结构： |
L型、T型和π型 |
| 频率范围 | 400 kHz - 60 MHz |
| 输出电压/电流 | 最大电流 (~150 ARMS) 最大电压 (10 kVpeak) |
| 输入功率 | 最高可达 15 kW |
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通信接口 |
EtherCAT®, RS232, 模拟, Ethernet |
| 脉冲 | 单级，双级和多级 |
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脉冲持续时间 |
5 µs - 1 s |
| 脉冲频率范围 | 0.5 Hz to 100 kHz |
| 外部脉冲同步 | TTL |
| 高级功能 | ± 10% 频率范围 |
| 适配的传感器 | Vpp, Vdc 及其他 |
| 输入电压 | 24 VDC |
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调谐时间 |
< 1 s 取决于预设点 |
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调谐范围 |
取决于单位频率和所安装的调谐线圈 |
彩页
Synertia® 平台宣传册
探索Comet集成射频功率传输平台中Synertia 射频匹配器与Synertia 射频电源之间的强大协同作用。
射频功率产品目录
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