Synertia® 射频功率传输平台

Synertia®
阻抗匹配系统

专为速度、准确性、精度和可重性而制造

Synertia® RFM 具备强大的数据采集能力，并可通过机载分析提供具备实操价值的分析洞察，能够实现前所未有的复杂等离子体应用，将射频（RF）控制提升至全新水平。

特征

  • 先进的调谐算法可提升调谐速度与制程控制能力
  • 支持高级用户访问计量数据
  • 配备高保真、高灵敏度的宽带 V/I 传感器
  • 可在 RF 基频变化 ±10% 范围内进行跟踪与调节
  • 用于信号处理与数据采集的强大可编程逻辑
  • 板载监控与诊断功能
  • 标准及定制化电容器设计
  • 直观的图形用户界面

优势

  • 超快速、稳定且一致的等离子体控制
  • 通过全数字化与定制化控制，实现卓越的制程控制与可重复性
  • 借助实时信号处理与数据采集持续优化制程
  • 通过快速事件分析与事后分析加速制程开发

优化后的 RFM 调谐时间

< 500 ms  取决于预设点

技术参数

匹配类型

单频 、双频

适配的匹配拓扑结构：

 L型、T型和π型
频率范围 400 kHz - 60 MHz
输出电压/电流 最大电流 (~150 APEAK)
最大电压 (10 kVPEAK)
输入功率 最高可达 15 kW

通信接口

 EtherCAT®, RS232, 模拟, Ethernet
脉冲 单级，双级和多级

脉冲持续时间

5 µs - 1 s
脉冲频率范围 0.5 Hz to 100 kHz
外部脉冲同步 TTL
高级功能 ± 10% 频率范围
适配的传感器 Vpp, Vdc 及其他
输入电压 24 VDC

调谐时间

 < 500 ms  取决于预设点

调谐范围

 取决于单位频率和所安装的调谐线圈

彩页

Synertia® 平台宣传册

探索Comet集成射频功率传输平台中Synertia 射频匹配器与Synertia 射频电源之间的强大协同作用。

射频功率产品目录

有关 Comet 射频专业技术和产品范围的简要介绍，请参阅我们的产品目录。

Synertia® RFG

更多信息

想要了解更多？

咨询您当地的团队！

联系我们