Synertia® 射频功率传输平台
Synertia®
阻抗匹配系统
专为速度、准确性、精度和可重性而制造
Synertia® RFM 与 Synertia® RFG。具有强大的协同作用。精确的传感器和匹配网络中的增强程序算法可确保连续稳定的等离子体处理工序。
特征
- 精确且可重复的输入/输出传感器
- 先进的多级脉冲与用户设置自定义调谐参数的能力
- 能够使用各种调谐元素的组合
- 实时监测和诊断，协助进行预防性维护
- 超带宽传感器
优势
- 通过实时信号处理和数据收集持续改进工序
- 卓越的工艺控制和可重复性，具有完全数字化和可定制的控制系统
- 增强的程序算法保证持续、稳定的射频等离子体
- 通过改进平均故障间隔时间和增强可靠性降低总使用成本
- 凭借射频专业知识、先进的建模/虚拟原型设计和广泛的射频程序电路，实现稳固的设计
技术参数
| 频率 | 400 kHz - 100 MHz |
| 输入功率 | 600 W to 20 kW |
| 输出电压/电流 | max. current (~150 ARMS), max. voltage (10 kVpeak) |
| 脉冲 | 单级，双级和多级 |
| 用户接口 | EtherCAT®, RS232, 模拟，高级用户接口 (ProfiNet® 和 DeviceNet® 即将推出) |
| 可选传感器功能 | Vp, Vdc 及其他 |
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