Synertia® 射频功率传输平台
Synertia® 射频电源
独一无二的性能加速器
用户可以完全控制 Synertia® RFG独一无二的性能加速器，包括可重复性、多级脉冲和高速通信。这种响应能力实现了比以往更复杂的等离子体应用：全新等级的深度控制。因此，更高的产出是Synertia®快速灵敏的工艺控制的结果，这提供了更卓越的可重复性、更快的调谐和自定义波形。
全新
27.12 MHz & 60 MHz Synertia® 射频电源
Synertia® RFG 产品推荐
27.12 MHz Synertia® 射频电源
13.56 MHz Synertia® 射频电源
特征
- 整个功率范围内的功率精度（设定值的 +/-1）
- 自动频率调节（额定频率的 +/-10）
- 精确的脉冲管理：脉冲持续时间、占空比、上升/下降斜率等
- 单级和多级脉冲
- 每级独立频率调节
- 多种电弧管理检测方法
- 功率效率 >70
- 与电缆长度无关
- 数字计量和直观的图形用户界面
- 采用先进制造技术的数字系统控制
- 多种接口和通信协议
优势
- 超快等离子工艺控制
- 一致的晶圆级均匀性
- 快速响应阻抗变化
- 在包括多级脉冲在内的所有运行模式下快速降低反射功率
- 电弧检测与闭环功率控制相结合，最大限度地减少晶片废料
- 快速事件分析和快速故障排除
- 与 OEM 工具无缝集成
射频功率精度
額定頻率 ± 10 % 以內的高精確功率輸出
多级脉冲
快速响应阻抗变化，实现高效电力传输
技术参数
13 MHz 信号发生器采样数据
| Synertia® 15/13 | Synertia® 50/13 | |
| 频率 | 13.56 MHz ± 10 % | 13.56 MHz ± 10 % |
| 输出频率 | 1.5 W to 1500 W | 5 W to 5000 W |
| 射频精度达到 50 Ω | 设定值± 1 % 或 ± 0.3 W 以最大值为准 |
设定值± 1 % 或 ± 1 W 以最大值为准 |
| 脉冲 | 0.05 Hz to 100 kHz | 0.05 Hz to 100 kHz |
| 脉冲升/降时间 | 320/240 ns | 650/240 ns |
| CEX | 400 kHz to 110 MHz | 400 kHz to 110 MHz |
| 频率调谐 | 标称频率 ± 10 % 以内 | 标称频率 ± 10 % 以内 |
| 接口 | EtherCAT®, RS232, RS-485, EtherNET®, and various Analog and Digital I/Os |
|
| 射频输出接口连接器 | N, 7-16, HN, LC | |
彩页
Synertia® 平台宣传册
探索Comet集成射频功率传输平台中Synertia 射频匹配器与Synertia 射频电源之间的强大协同作用
射频功率产品目录
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