独一无二的性能加速器

用户可以完全控制 Synertia® RFG独一无二的性能加速器，包括可重复性、多级脉冲和高速通信。这种响应能力实现了比以往更复杂的等离子体应用：全新等级的深度控制。因此，更高的产出是Synertia®快速灵敏的工艺控制的结果，这提供了更卓越的可重复性、更快的调谐和自定义波形。

特征

• 整个功率范围内的功率精度（设定值的 +/-1）
• 自动频率调节（额定频率的 +/-10）
• 精确的脉冲管理：脉冲持续时间、占空比、上升/下降斜率等
• 单级和多级脉冲
• 每级独立频率调节
• 多种电弧管理检测方法
• 功率效率 >70
• 与电缆长度无关
• 数字计量和直观的图形用户界面
• 采用先进制造技术的数字系统控制
• 多种接口和通信协议

优势

• 超快等离子工艺控制
• 一致的晶圆级均匀性
• 快速响应阻抗变化
• 在包括多级脉冲在内的所有运行模式下快速降低反射功率
• 电弧检测与闭环功率控制相结合，最大限度地减少晶片废料
• 快速事件分析和快速故障排除
• 与 OEM 工具无缝集成

射频功率精度

額定頻率 ± 10 % 以內的高精確功率輸出

多级脉冲

快速响应阻抗变化，实现高效电力传输

探索Comet集成射频功率传输平台中Synertia 射频匹配器与Synertia 射频电源之间的强大协同作用

射频功率产品目录

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