Synertia® 射频功率传输平台

Synertia® 射频电源

独一无二的性能加速器

用户可以完全控制 Synertia® RFG独一无二的性能加速器,包括可重复性、多级脉冲和高速通信。这种响应能力实现了比以往更复杂的等离子体应用:全新等级的深度控制。因此,更高的产出是Synertia®快速灵敏的工艺控制的结果,这提供了更卓越的可重复性、更快的调谐和自定义波形。

13.56 MHz Synertia® 射频电源

Synertia® RFG 15/13

1.5 kW / 13.56 MHz

Synertia® RFG 25/13

2.5 kW / 13.56 MHz

Synertia® RFG 50/13

5 kW / 13.56 MHz

特征

  • 功率精度和可重复性
  • 多级脉冲(用户可自定义四级)
  • 可定制的频率调谐
  • 数字计量和直观的图形用户接口
  • 先进制程的数字化控制系统

优势

  • 无缝集成至工艺系统
  • 超高速等离子工艺控制
  • 更紧密的可重复性将提高产出
  • 快速可配置的脉冲起伏时间
  • 连续的工序和晶圆级均匀性

技术参数

  Synertia® 15/13 Synertia® 50/13
频率 13.56 MHz 13.56 MHz
输出频率 1.5 W to 1500 W 5 W to 5000 W
射频精度达到 50 Ω 设定值± 1 % 
或 ± 0.3 W
以最大值为准
设定值± 1 % 
或 ± 1 W
以最大值为准
脉冲 0.05 Hz to 100 kHz
脉冲升/降时间 300/240 ns 600/240 ns
CEX 400 kHz to 110 MHz
频率调谐 标称频率 ± 10 % 以内
接口 EtherCAT®, RS232, RS485, 模拟
(ProfiNet®, DeviceNet® 等)

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