Synertia® 射频功率传输平台
Synertia® 射频电源
独一无二的性能加速器
用户可以完全控制 Synertia® RFG独一无二的性能加速器，包括可重复性、多级脉冲和高速通信。这种响应能力实现了比以往更复杂的等离子体应用：全新等级的深度控制。因此，更高的产出是Synertia®快速灵敏的工艺控制的结果，这提供了更卓越的可重复性、更快的调谐和自定义波形。
13.56 MHz Synertia® 射频电源
特征
- 功率精度和可重复性
- 多级脉冲（用户可自定义四级）
- 可定制的每级扫频
- 多功能打火管理
- 数字计量和直观的图形用户接口
- 先进制程的数字化控制系统
优势
- 无缝集成至工艺系统
- 超高速等离子工艺控制
- 更紧密的可重复性将提高产出
- 快速可配置的脉冲起伏时间
- 连续的工序和晶圆级均匀性
技术参数
| Synertia® 15/13 | Synertia® 50/13 | |
| 频率 | 13.56 MHz ± 10 % | |
| 输出频率 | 1.5 W to 1500 W | 5 W to 5000 W |
| 射频精度达到 50 Ω | 设定值± 1 % 或 ± 0.3 W 以最大值为准 |
设定值± 1 % 或 ± 1 W 以最大值为准 |
| 脉冲 | 0.05 Hz to 100 kHz | |
| 脉冲升/降时间 | 300/240 ns | 600/240 ns |
| CEX | 400 kHz to 110 MHz | |
| 频率调谐 | 标称频率 ± 10 % 以内 | |
| 接口 | EtherCAT®, RS232, RS485, 模拟 | |
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