等离子控制的未来。

以最快的速度控制等离子工艺

Synertia® 是Comet新型的集成射频功率传输平台,可以实现前所未有的功率控制。该系统能够管理复杂的下一代多层存储器和原子级等离子工艺。Comet 的射频功率子系统实现了等离子体腔室中的颠覆性工艺技术,使晶圆加工设备更好面对未来的工作需求。

 

Synertia® 代表

1 + 1 = 3

Synertia® 发挥着射频电源和射频匹配网络间的强大的协同作用。在Synertia®中,电源与匹配器的独特的专利控制能以尽可能高的速度交互,这将实现比以往更复杂的等离子应用。

Synertia® 平台由射频电源和射频匹配系统组成,具有广泛的频率和功率等级。

Synertia® RFG

Synertia® 射频电源

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Synertia® RFM

Synertia® 射频匹配系统

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Synertia® 射频功率传输平台

Synertia® RFG

独一无二的性能加速器

用户可以完全控制 Synertia® RFG独一无二的性能加速器,包括可重复性、多级脉冲和高速通信。这种响应能力实现了比以往更复杂的等离子体应用:全新等级的深度控制。因此,更高的产出是Synertia®快速灵敏的工艺控制的结果,这提供了更卓越的可重复性、更快的调谐和自定义波形。

13.56 MHz Synertia® 射频电源

Synertia® RFG 15/13

1.5 kW / 13.56 MHz

Synertia® RFG 25/13

2.5 kW / 13.56 MHz

Synertia® RFG 50/13

5 kW / 13.56 MHz

特征

  • 功率精度和可重复性
  • 多级脉冲(用户可自定义四级)
  • 可定制的频率调谐
  • 数字计量和直观的图形用户接口
  • 先进制程的数字化控制系统

优势

  • 无缝集成至工艺系统
  • 超高速等离子工艺控制
  • 更紧密的可重复性将提高产出
  • 快速可配置的脉冲起伏时间
  • 连续的工序和晶圆级均匀性

技术参数

  Synertia® 15/13 Synertia® 50/13
频率 13.56 MHz 13.56 MHz
输出频率 1.5 W to 1500 W 5 W to 5000 W
射频精度达到 50 Ω

设定值± 1 % 
或 ± 0.3 W
以最大值为准

设定值± 1 % 
或 ± 1 W
以最大值为准

脉冲 0.01 Hz 到 100 kHz
脉冲起/伏时间 300 ns / 150 ns
CEX 主或从标称频率 ± 10 % 
频率调谐 标称频率 ± 10 % 以内
接口

EtherCAT®, RS232, RS485, 模拟
(ProfiNet®, DeviceNet® 等)

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Synertia® 射频功率传输平台

Synertia® RFM

专为速度、准确性、精度和可重复性而制造

Synertia® RFM 与 Synertia® RFG。具有强大的协同作用。精确的传感器和匹配网络中的增强程序算法可确保连续稳定的等离子体处理工序。

特征

  • 精确且可重复的输入/输出传感器
  • 能够设置自定义调谐参数的先进多级脉冲
  • 能够使用各种调谐元素的组合
  • 实时监测和诊断,协助进行预防性维护
  • 超带宽传感器

优势

  • 通过实时信号处理和数据收集持续改进工序
  • 卓越的工艺控制和可重复性,具有完全数字化和可定制的控制系统
  • 增强的程序算法保证持续、稳定的射频等离子体
  • 通过改进平均故障间隔时间和增强可靠性降低总使用成本
  • 凭借射频专业知识、先进的建模/虚拟原型设计和广泛的射频程序电路,实现稳固的设计

技术参数

频率 400 kHz - 100 MHz
输入功率 600 W to 20 kW
输出电压/电流

max. current (~150 Apk),
max. voltage (10 kVpk)

脉冲 单级,双级和多级
用户接口

EtherCAT®, RS232, 模拟,高级用户接口
(ProfiNet® 和 DeviceNet® 即将推出)

可选传感器功能 Vpp, Vdc 及其他

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