以最快的速度控制等离子工艺

随着半导体制造商将器件功能从纳米尺度推进到埃米级，并采用全新的 3D 架构来提升器件性能与集成度，关键的等离子体工艺需要更复杂、更精准的射频功率传输控制。

Synertia® 可为复杂脉冲波形与多重脉冲状态提供卓越的阻抗匹配性能，支持自定义等离子体条件，以实现最优的晶圆制程效果，同时具备行业领先的控制精度与重复性。

Synertia® 的效果可以概括为

1 + 1 = 3

Synertia® 射频功率传输平台可在连续波、脉冲和多级脉冲波形的每个工艺转换过程中进行精确优化，以定制等离子条件，实现最佳晶圆上结果，并提供一流的精度和可重复性，满足下一个节点及更高节点的批量生产需求。

Synertia® 平台凭借超快的通信与协同能力、强大的数据采集功能以及可实时执行的机上分析，进一步提升射频电源与射频匹配系统的协同效应，实现前所未有的复杂等离子体应用，开启深度控制的全新高度。

Synertia® 平台由射频电源和射频匹配系统组成，具有广泛的频率和功率等级。