以最快的速度控制等离子工艺

Synertia® 是Comet新型的集成射频功率传输平台，可以实现前所未有的功率控制。该系统能够管理复杂的下一代多层存储器和原子级等离子工艺。Comet 的射频功率子系统实现了等离子体腔室中的颠覆性工艺技术，使晶圆加工设备更好面对未来的工作需求。

Synertia® 代表

1 + 1 = 3

Synertia® 发挥着射频电源和射频匹配网络间的强大的协同作用。在Synertia®中，电源与匹配器的独特的专利控制能以尽可能高的速度交互，这将实现比以往更复杂的等离子应用。

Synertia® 平台由射频电源和射频匹配系统组成，具有广泛的频率和功率等级。