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Synertia® 射频电源供电平台
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Synertia®
PECVD工艺中的射频电源将促进新世代电源的出现。薄膜电池通常使用与半导体相同的技术制造,例如溅射和热蒸发。材料单次沉积一层,电池组件逐个组装。