动态负载中的极高稳定性。
cito Plus 能提供卓越的脉冲质量，稳定性和功率测量精度，这使其成为了离子体沉积、蚀刻应用以及非半导体应用的最好选择。
- 可运行时间长-专注于吞吐量并降低运行成本
- 注重精确度，可重复性和稳定性-满足您的工艺需求
- 更高的电源效率-更经济环保的足迹
特征
- 对称开环响应
- 高精度功率控制
- 脉冲频率高达 100 kHz
- 具有可变相位延迟的 CEX
- CEX输出分频器
- 符合SEMI半导体行业标准
优势
- 可预测的等离子体行为
- 易于系统集成
- 可重复的晶圆结果
- 在任何电缆长度下都能保持稳定
- 在任何负载下都能形成出色的脉冲波形
- 与全球大多数生产设备兼容
功率加载至VSWR 3:1
对称开环响应
考虑升级和更换为 cito Plus
- 与现有设备上的产品相比稳定性更好
- 可以用于偏移和电源
为您提供即插即用系统
- 可用接口：模拟接口，RS-232C, Ethernet, Profibus，匹配网络控制器接口
- 同轴电缆的低灵敏度 – 无需调整长度，可保持原先的电缆
- 风冷，无冷却线路
- 易于用户使用的前面板控制或被动面板
- 交流输入范围广，覆盖额定电压230V AC，单相
Flyer
