13 - 60

MHz 频率

0.6 - 6

kW 功率

Comet提供具有脉冲和精确功率控制的全功能射频电源。

  • 高效的设计
  • 最新的晶体管技术
  • 脉冲频率高达100 kHz
  • 主动或被动前面板
  • 模拟和串行通信选项
  • 输入电压范围为200 VAC至480 VAC
  • 相位同步的主/从CEX

cito Plus

等离子沉积和蚀刻应用的最佳选择

cito

工艺控制最多功能的选择

匹配性能

结合匹配器和电源的射频功率传输系统

射频电源

cito Plus

动态负载中的极高稳定性。

cito Plus 能提供卓越的脉冲质量,稳定性和功率测量精度,这使其成为了离子体沉积、蚀刻应用以及非半导体应用的最好选择。

  • 可运行时间长-专注于吞吐量并降低运行成本
  • 注重精确度,可重复性和稳定性-满足您的工艺需求
  • 更高的电源效率-更经济环保的足迹

特征

  • 对称开环响应
  • 高精度功率控制
  • 脉冲频率高达 100 kHz
  • 具有可变相位延迟的 CEX
  • 可选频率偏移
  • 完全符合半导体标准

优势

  • 可预测的等离子体行为
  • 易于系统集成
  • 可重复的晶圆结果
  • 在任何电缆长度下都能保持稳定
  • 在任何负载下都能形成出色的脉冲波形
  • 与全球大多数生产设备兼容

将功率加载到VSWR 3中

对称开环响应

考虑升级和更换为 cito Plus

  • 与现有设备上的产品相比稳定性更好
  • 可以用于偏移和电源

为您提供即插即用系统

  • 可用接口:RS-232C, Ethernet, Profibus等
  • 同轴电缆的低灵敏度 – 无需调整长度,可保持原先的电缆
  • 风冷,无冷却线路
  • 易于用户使用的前面板控制或被动面板
  • 交流输入范围广,覆盖范围 187 VAC ~ 265 VAC

彩页

射频电源

cito

由LDMOS FET技术支撑实现精确的工艺控制。

包含更少零件的稳固设计提高了运行效率,稳定性和可靠性,降低了热量积聚及功率消耗。

优势

  • 基于LDMOS FET的最新放大器,具有稳固性和稳定性
  • 极其高效可靠的设计,实现低使用成本
  • 可通过激活的前面板或自定义 GUI 访问的广泛功能
  • 适用于半导体、OLED TFE、太阳能和工业镀膜

Comet射频传输系统

匹配性能

以具有竞争力的价格提供高性能,可靠,精确的等离子工艺控制。

通过组合 Comet cito Plus 电源和 AGS 阻抗匹配系统来构建您的射频传输系统。

彩页

目录

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