Synertia® 射频电源
用户可以完全控制 Synertia® RFG独一无二的性能加速器，包括可重复性、多级脉冲和高速通信。这种响应能力实现了比以往更复杂的等离子体应用：全新等级的深度控制。因此，更高的产出是Synertia®快速灵敏的工艺控制的结果，这提供了更卓越的可重复性、更快的调谐和自定义波形。
Comet 射频电源
13 - 60
MHz 频率
0.6 - 6
kW 功率
Comet提供具有脉冲和精确功率控制的全功能射频电源。
- 高效的设计
- 最新的晶体管技术
- 脉冲频率高达100 kHz
- 主动或被动前面板
- 模拟和串行通信选项
- 输入电压范围为200 VAC至480 VAC
- 相位同步的主/从CEX
cito Plus
等离子沉积和蚀刻应用的最佳选择
cito
工艺控制最多功能的选择
匹配性能
结合匹配器和电源的射频功率传输系统
