13 - 60
MHz 频率
0.6 - 6
kW 功率
Comet提供具有脉冲和精确功率控制的全功能射频电源。
- 高效的设计
- 最新的晶体管技术
- 脉冲频率高达100 kHz
- 主动或被动前面板
- 模拟和串行通信选项
- 输入电压范围为200 VAC至480 VAC
- 相位同步的主/从CEX
cito Plus
等离子沉积和蚀刻应用的最佳选择
cito
工艺控制最多功能的选择
匹配性能
结合匹配器和电源的射频功率传输系统
射频电源
cito Plus
动态负载中的极高稳定性。
cito Plus 能提供卓越的脉冲质量，稳定性和功率测量精度，这使其成为了离子体沉积、蚀刻应用以及非半导体应用的最好选择。
- 可运行时间长-专注于吞吐量并降低运行成本
- 注重精确度，可重复性和稳定性-满足您的工艺需求
- 更高的电源效率-更经济环保的足迹
特征
- 对称开环响应
- 高精度功率控制
- 脉冲频率高达 100 kHz
- 具有可变相位延迟的 CEX
- CEX输出分频器
- 符合SEMI半导体行业标准
优势
- 可预测的等离子体行为
- 易于系统集成
- 可重复的晶圆结果
- 在任何电缆长度下都能保持稳定
- 在任何负载下都能形成出色的脉冲波形
- 与全球大多数生产设备兼容
功率加载至VSWR 3:1
对称开环响应
考虑升级和更换为 cito Plus
- 与现有设备上的产品相比稳定性更好
- 可以用于偏移和电源
为您提供即插即用系统
- 可用接口：模拟接口，RS-232C, Ethernet, Profibus，匹配网络控制器接口
- 同轴电缆的低灵敏度 – 无需调整长度，可保持原先的电缆
- 风冷，无冷却线路
- 易于用户使用的前面板控制或被动面板
- 交流输入范围广，覆盖额定电压230V AC，单相
彩页
射频电源
cito
由LDMOS FET技术支撑实现精确的工艺控制。
包含更少零件的稳固设计提高了运行效率，稳定性和可靠性，降低了热量积聚及功率消耗。
优势
- 基于LDMOS FET的最新放大器，具有稳固性和稳定性
- 极其高效可靠的设计，实现低使用成本
- 可通过激活的前面板或自定义 GUI 访问的广泛功能
- 适用于半导体、OLED TFE、太阳能和工业镀膜
Comet射频传输系统
匹配性能
彩页
