我们热衷于射频技术。
Comet等离子控制技术开发并制造高质量真空电容,高性能射频电源和阻抗匹配网络。这些专用产品可以用于精确控制等离子工艺,例如半导体、平板显示器、太阳能电池板和工业镀膜的薄膜沉积和蚀刻。
Synertia® 射频电源供电平台
Synertia® 是Comet新型的集成射频电源供电平台,可以实现前所未有的功率控制。该系统能够管理复杂的下一代多层存储器和原子级等离子工艺。
标准产品和定制化射频匹配网络
Comet向众多行业提供领先的网络匹配解决方案。我们拥有在射频电路建模和设计的深厚专业知识以及出色的Comet真空电容,我们的产品能够确保您的设备能表现出最好的性能,可重复性及可靠性。
射频电源
全功能射频发生器覆盖从 13 MHz 到 60 MHz的频率,以及从 600 W 到 6 kW的功率,具有脉冲和精确的功率控制。
真空电容
市场上最广泛的电容值、功率、电压和驱动系统选择