Ultra Life - 用于超长寿命真空电容的高速驱动系统

八月 11, 2023

芯片制造商对性能的新要求使得创新变得至关重要。了解 Comet Ultra Life 驱动系统的历史。

久经考验的 Comet 解决方案 - 75 年的丰富经验

新的性能要求使创新变得至关重要

越来越小的芯片需要更高的性能,这增加了芯片制造商蚀刻/沉积工艺的数量,带来了更快的工艺和更频繁、更小的步骤。

15 年前的标准是每年约 1 米周期。现在,基准线更接近于每三个月 1 米 周期,甚至更低。这些年来,驱动速度也大幅提高: 从最初的 180 RPM-360 RPM,到现在需要高达 1200 RPM。

由于对匹配网络以及真空电容的速度和循环次数的性能要求越来越高,传统真空电容的使用寿命(主要取决于波纹管或驱动系统等运动部件的失效时间)大幅缩短。

对于真空电容驱动系统的所有部件来说,必要的速度和增加的循环次数都是一项挑战,而且由于螺杆和螺母的摩擦和磨损,使用寿命也受到限制。 金属颗粒残留物与润滑油混合后会产生糊状混合物,导致扭矩增加,最终导致故障。扭矩增大还可能导致导螺杆堵塞,进而导致驱动系统堵塞。

对新技术的需求显而易见。

侧面的磨损在螺母上清晰可见

侧面完全磨损

目标:避免机器故障

为了与半导体行业的每个技术节点保持一致,Comet 必须根据新的要求提高产品的使用寿命。早在 20 世纪 90 年代,Comet 就开始调查不利的材料条件,以确定磨损发生的位置和原因。我们的目标是设计出一种解决方案,确保产品的使用寿命达到约 3 百万次循环。

通过尝试使用不同的材料和涂层,我们改进了真空电容驱动系统的外形、配件和功能,该产品目前以 Ultra Life 品牌销售。该解决方案满足了业界对等离子系统无故障运行和提高可靠性的挑战性要求。

配备

Comet Ultra Life 驱动系统的真空电容器的使用寿命显著延长

并保证长达 6 m 周期的无故障运行。

新设计不断得到改进。现在Comet 能够提供带有驱动系统的真空电容,适用于各种应用,包括涉及大功率电容的应用。采用适当的系统,可实现超过 100 m 匝的无故障使用寿命。

配备 Comet Ultra Life 驱动系统的真空电容示例

对电容的分析表明,其电气和机械条件都非常完美。

在客户工具的实际运行条件下,经过 1.5 年的测试。结果表明,外部条件极佳,驱动系统部件(导螺杆和螺母)完好无损。没有明显的磨损迹象。

Uni-Con 真空电容系列

带驱动螺母的可变侧俯视图: 螺母插件看起来很完美,没有磨损痕迹。

拆卸下来的螺母镶件截面: 经过 3.1 m周期后,侧面和表面仍然完好无损。

Hexa-Con 真空电容系列

同样,在使用 "go/no-go "量规进行测试时,导螺杆的螺纹依然完好无损(经过 3.1 m 周期)。

寿命周期比较测试 Hexa-Con 系列

实时周期测试

几十年来,Comet 一直在执行标准化的生命周期测试,以验证和证明真空电容的规定寿命,这主要是由波纹管和驱动系统等活动部件决定的。不同的驱动系统在相同的条件下进行测试。

可根据要求提供不同驱动系统的具体寿命周期测试结果。

想了解更多

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Ultra Life

产品信息

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技术信息

阅读服务公告 SB-56

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更先进的技术

进一步了解 Comet 真空电容的先进功能

更先进的技术

在复杂的应用和生产过程中,Comet 先进的 Ultra Life 驱动系统具有无与伦比的耐用性和性能,尤其适用于大功率电容。

大多数用于半导体应用的 Comet 真空电容都可以配备符合 CE 标准的 Ultra Life 驱动系统。

 

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