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探索我们全新的 Synertia® 射频功率供电平台

Synertia®, 是Comet新型的集成射频功率传输平台，可实现等离子体工艺设备所需的前所未有的功率传输控制，用于下一代微芯片。Synertia®, 是射频电源系统，可确保在最高速度水平下对等离子体状态进行强大的指挥和控制。允许管理多层存储器和原子尺度等离子体过程的复杂性的系统。