Synertia®

超快响应

Comet公司的Synertia®平台能够在全新的水平上实时了解等离子工艺。射频电源 Synertia® RFG 对等离子腔室的变化具有无与伦比的响应速度。数据高速采集，快速测量和低延迟数字信号处理相结合，确保了快速适应和改进驱动及工艺良率。

半导体设备制造商和最终用户芯片制造商都能更快地解决关键问题和挑战。这大大节省了时间和资金，加快了新产品的上市速度

稳定、可靠、可重复的等离子控制技术

Synertia® 的快速响应可在飞速变化的工艺条件下保持稳定的功率输出。此外，由于采用了可配置的 EtherCAT® 接口，向设备传输数据的延迟时间短，速度快如闪电，也确保了简化的系统集成。

集成先进功能

Synertia® 适用于芯片制造商要求的各种应用。AFT 算法允许射频发生器快速适应等离子工艺，而电弧管理则有助于减轻晶片损坏并提高生产率。此外，集成监测系统可节省实验室设备费用，高级示波器功能等应用可直接获取关键工艺参数。

协同优化射频电源

只有当射频功率发生器和相应的匹配网络实现最佳同步和实时通信时，射频系统才能达到最佳性能。这就是 Synertia® 的意义所在： 高度协同的射频功率传输子系统可控制原子级的等离子工艺并加快性能。