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Semicon Taiwan!

探索我们全新的 Synertia® 射频功率供电平台

Synertia®, 是Comet新型的集成射频功率传输平台，可以实现前所未有的功率控制。该系统能够管理复杂的下一代多层存储器和原子级等离子工艺。Comet 的射频功率子系统实现了等离子体腔室中的颠覆性工艺技术，使晶圆加工设备更好面对未来的工作需求。

芯片和晶圆的质量保证及测试

根据摩尔定律，集成电路（integrated circuit）中的的晶体管数量每18至24个月就会翻一番。随着市场对微型化要求的提升，越来越多的功能件需要被安装在有限的空间内，以节省硅晶圆的表面面积。随着芯片技术日益复杂，对质量测试及控制的需求也日益增长。Comet Yxlon 能够提供高精度且高放大倍数的X射线检测系统，以应对集成电路和晶圆测试所来带的挑战。

FXE 系列 — 微焦点 及 纳米焦点系列X射线源

FXE X射线源完美适用于工业无损检测及质量控制、线下检测、以及缺陷尺寸从几毫米低至0.5微米的工件检测。 通过高倍率的光学放大和X射线源与被观测物体之间的短间距，FXE系列微焦点X射线源可实现对极致细节的观察检测。

得益于在任何焦点尺寸下的高剂量，FXE 系列射线源能够提供最高输出的X射线检测应用。我们的高功率靶能够有效地发散由高聚焦电子束产生的热量，同时主动式冷却系统可以提供卓越的稳定性，从而实现快速可靠的扫描。

多焦点 FXE 射线源 (FXE 160/190 纳米焦点 CT) 不单适用于纳米级别的应用。根据不同应用场景的要求，FXE能够调整焦点尺寸和功率，这使得FXE系列的实用性更为普遍，可以应对各类检测任务。