Synertia®

Synertia®作为Comet的集成射频功率传输平台，满足了制作次世代微芯片的等离子工艺设备的需求，实现了前所未有的功率传输控制。Synertia®射频功率系统能够确保对极高速等级下等离子条件的高效命令及控制，该系统允许我们管理多层存储的复杂性与原子级的等离子工艺。

半导体工厂是最先进的技术制造基地。制造先进微芯片所需的等离子体工艺需要极快、实时的等离子控制。一个可配置的高速射频功率系统对于控制等离子行为和关键工艺参数是十分必要的，从而提高可靠性，重复性和产出。

Synertia®射频功率传输平台使下一代高性能晶片加工工具成为可能，并以更多的功能和灵活性提高蚀刻和沉积过程的性能。它将射频电源和射频匹配系统的交互提升到一个新的水平。数字控制技术、直观的可视化和结构良好的数据组织为等离子工艺提供了更好的条件。