特 徴

  • 一般的な半導体用途に適した設計
  • 高出力動作に最適化されたベローズ設計
  • 高速チューニング用に最適化された駆動システム
  • 最大 162 MHz の周波数範囲
  • 小型ながらも高い電流能力
  • 統一サイズのため交換可能
  • 標準化された42mm角形マウンティングフランジ
  • モーター駆動型および非駆動型の真空コンデンサをご用意
  • Ultra Life 機能は一部のタイプで対応

技術仕様

静電容量 Cmax 範囲
30 - 2000 pF
Upt 範囲 3 - 37 kV

13.56 MHz での最大 IRMS

16 - 107 ARMS
インダクタンス ≤ 11 nH
直径 55, 64, 75 mm
高さ 128 - 141 mm
冷却装置 対流
RoHS 準拠 あり

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