特 徴

  • 20 kW を超える高出力のフラットパネル (LCD, FPD) 、半導体、およびその他の用途向けに設計
  • 高電圧・大電流対応
  • 2 MHz から 40 MHz の標準周波数範囲
  • 水冷に対応
  • 準仕様の6穴マウンティングフランジ
  • モーター駆動型および非駆動型の真空コンデンサをご用意
  • Ultra Life 機能は一部のタイプで対応

技術仕様

静電容量 Cmax 範囲
250 - 3000 pF
Upt 範囲 8 - 25 kV

13.56 MHz での最大 IRMS

123 - 182 ARMS
インダクタンス ≤ 11 nH
直径  117 mm
高さ 152 - 171 mm
冷却装置 対流・水・ハイブリッド
RoHS 準拠 あり

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