特 徴
- さまざまな半導体用途に適した設計
- 人気があり広く使用されています
- コンパクトで費用対効果の高い設計
- Cmax から Cmin まで、175：1 の広いチューニング範囲
- 一体型フランジとフランジマウントでご利用いただけます
- 低トルクで高いチューニング速度を実現
用 途
技術仕様
| 静電容量 Cmax 範囲 |
170 - 1400 pF |
| Upt 範囲 | 3 - 15 kV |
|
13.56 MHz での最大 IRMS |
55 - 64 ARMS |
| インダクタンス | ≤ 11 nH |
| 直径 | 55 mm |
| 高さ | 103 - 150 mm |
| 冷却装置 | 対流 |
| RoHS 準拠 | あり |