高精度運転に最適なソリューション
真空コンデンサ向けの費用対効果に優れた最新の一体型駆動技術
モーター駆動型コンデンサは、高精度運転に最適なソリューションです。モーター駆動型コンデンサは、最高の精度を保証することに加え、簡単にインストールできるサブシステムで調達を簡素化します。ユニバーサル一体型駆動システムのコアは、絶縁カバー、カプラ、ステッピングモーターが取り付けられたCometの可変真空コンデンサです。耐久性のあるバックラッシュフリーのCometのカプラがコンデンサを駆動システムに接続します。
一体型フランジによりシステムに簡単に取り付けることができます。コンデンサとフランジ間には適切な高電圧絶縁も含まれています。
ハイレベルのコマンド
モジュールはハイレベルのコマンド（ユニバーサルIDの場合はRS232、RS485）を使用して、PCまたはコントロールボードから制御できます。通信プロトコルは、以下のコマンドの実行を可能にします。
- フルステップ、マイクロステップ、または静電容量の位置を設定することにより、正確なモーション制御が実現
- アイドル時および駆動時の電流、動作速度、スレーブアドレスを、それぞれ規定された許容範囲内で設定
- 実際のフルステップ、マイクロステップ、静電容量の位置の読み取り
- 静電容量特性曲線（Cカーブ）の読み取り
- ファームウェアバージョン、シリアル番号、すべてのユーザーおよび工場設定値など、さまざまなパラメータの読み取り
- • 包括的なRX 応答 (ACK, NAK) ：
– すべてのコマンドに対してのACK応答
– 「動作開始」および「動作完了」に対してのACK応答
– チェックサムエラーやインデックスの範囲外などの場合のNAK応答 - ボーレートは9.600〜115.200 Bdに設定できます
- 工場の制限内でユーザーの制限（CminとCmax）を設定します
- ユーザーが選択できるポジションを最大10件保存
コンデンサチューニング
ステッピングモータを使用して、可変コンデンサの静電容量をユーザーが選択可能な範囲内で正確に調整できます。
パンフレット
一体型駆動真空コンデンサ
ユニバーサルID
一体型駆動ソリューション
機 能
-
新型一体型駆動用には1つのドライバPCBで対応可能 (ID-400 and ID-1200)
-
Cometの同じ通信プロトコルを使用：RS232およびRS485
-
9.600〜115.200 Bdとフレキシブルなボーレート
-
RS485モードで最大32個のモジュールを接続可能
-
フルステップ、マイクロステップ、および静電容量の位置の読み取り
-
ご要望に応じて、より高分解能の容量テーブルをご提供
メリット
- 静電容量の位置決め精度と再現性の向上（UA4との比較）
- 静電容量分解能（位置制御）が0.01 pFに向上
- 可変真空コンデンサとステッピングモータの正確な位置合わせと耐久性のあるバックラッシュフリーのカップリングにより、長く安定した寿命を実現
- 簡単に設置できる組み立て済みのソリューション
- トータルコストの削減
- マッチボックススペースの効率的な使用
技術仕様
| 静電容量 Cmax 範囲 | 100 - 2000 pF |
|
出力範囲 |
3 - 25 kV |
|
13.56 MHz での最大 IRMS |
72 - 170 ARMS |
|
直径 |
55 - 117 mm |
|
高さ |
230 - 280 mm |
|
冷却装置 |
対流 |
|
RoHS 準拠 |
あり |
|
電源電圧 |
+24 VDC |
| 供給電流 | Ip < 1.1 A (ID-400) Ip < 2.8 A (ID-1200) |
| フルステップアングル | 1.8 ° |
|
モーター速度 |
最大 600 rpm |
| マイクロステッピング | 16 micro-steps |
| 動作温度 | +5 – +50 °C |
| 利用可能なインターフェース | RS232, RS485 |
| アドレス範囲 (RS485) | 0 x 21 – 0 x 40 |
| ボーレート | 9.600 – 115.200 Bd |
用 途
- 半導体
- フラットパネルディスプレイ
- ソーラー
- MEMS