Synertia® RF Power Delivery Platform
Synertia®
RF 整合ネットワーク
スピード、精度、緻密さ、再現性を追求
データ収集とオンボード分析による実用的な洞察のための 強力な機能により、Synertia RFマッチングネットワーク は、これまで不可能であったより複雑なプラズマアプリケー ションを可能にします。
特 徴
- チューニング速度とプロセス制御を向上させる高度なチューニングアルゴリズム
- 顧客がアクセス可能な高度な計測データ
- 高忠実かつ高感度の広帯域V/Iセンサー
- RF 基本周波数が±10%まで変化した場合の追跡とチューニング
- 信号処理とデータ収集のための強力なプログラマブルロ ジック
- オンボードモニタリングおよび診断機能
- 標準およびカスタマイズされたコンデンサ設計
- 直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス
メリット
- 超高速、安定したプラズマ制御
- カスタマイズ可能な完全デジタル制御による優れたプロセス制御と再現性
- リアルタイムの信号処理とデータ収集による継続的なプロセス改善
- 迅速なイベント解析と事後解析によるプロセス開発の加速
RFM チューニング時間の改善
< 500 ms プリセットポイントによる
Technical data
| 整合タイプ | 単一周波数 二重周波数 |
| 使用可能な整合トポロジー | L, T, および Pi 整合 |
| 周波数帯域 | 400 kHz ~ 60 MHz |
| 出力 V/l | 最大電流 (~150 APEAK) 最大電圧 (10 kVPEAK) |
| 入力電力 | 最大 15 kW |
| 通信インターフェース | EtherCAT®, RS232, アナログ, イーサネット |
| パルス | シングル, デュアル, マルチ |
| パルス幅 | 5 µs ~ 1 s |
| パルス周波数 | 0.5 Hz ~ 100 kHz |
| 外部パルス同期 | TTL |
| 機能拡張 | ± 10% の周波数範囲 |
| オプショナルセンサー | Vpp, Vdc 等 |
| 入力電圧 | 24 VDC |
| チューニング時間 | < 500 ms プリセットポイントによる |
| チューニング範囲 | ユニット周波数と取り付けられているチューニングコイルによる |
Flyer
Synertia®
プラットフォーム
パンフレット
Cometの統合RF電力供給プラットフォームで、Synertia RFMとSynertia RFGのパワフルな相乗効果をご体感ください。
RF電源カタログ
RFに関するCometの専門技術と取り扱い製品に関する概要は、カタログにも記載されています。オンラインでご確認いただくか、印刷版をご注文ください。