Synertia® RF Power Delivery Platform
Synertia®
RF 整合ネットワーク
スピード、精度、緻密さ、再現性を追求
Synertia® RFMはSynertia®RFGとパワフルな相乗効果を発揮します。整合ネットワーク内の正確なセンサーと高度のチューニングアルゴリズムにより、一貫性のある安定したプラズマ処理を保証します。
特 徴
- ユーザーアクセス可能な高度な計測データ
- リアルタイムのデータストリーミング：
Synertia® RFGおよびRFMデバイスからすべてのデータへのフルアクセスが利用可能、これにより変更へのリアルタイム対応、プロセス開発の加速、インシデント発生時の事後分析が実現 - 予防保守をサポートし、より複雑なプラズマアプリケーションのための実用的な分析を可能にするオンボードモニタリングと診断
- Comet真空コンデンサとの統合：
低周波アプリケーション用 Ultra Life 駆動システムや XtraVolt 機能などの最新技術を搭載した、標準またはカスタマイズされたコンデンサ設計
メリット
- リアルタイムの信号処理とデータ収集による継続的なプロセス改善
- フルデジタルでカスタマイズ可能な操作により、優れたプロセス制御と再現性を実現
- 高度なチューニングアルゴリズムによる安定したRFプラズマ
- MTBFの改善と正確性の向上によるトータルコストの削減
- RF専門技術、最先端のモデリング／仮想プロトタイピング、およびRFチューニング回路の膨大なライブラリを備えたロバスト設計
Technical data
| 整合タイプ | 単一周波数 二重周波数 |
| 使用可能な整合トポロジー | L, T, および Pi 整合 |
| 周波数帯域 | 400 kHz ~ 60 MHz |
| 出力 V/l | 最大電流 (~150 APEAK) 最大電圧 (10 kVPEAK) |
| 入力電力 | 最大 15 kW |
| 通信インターフェース | EtherCAT®, RS232, アナログ, イーサネット |
| パルス | シングル, デュアル, マルチ |
| パルス幅 | 5 µs ~ 1 s |
| パルス周波数 | 0.5 Hz ~ 100 kHz |
| 外部パルス同期 | TTL |
| 機能拡張 | ± 10% の周波数範囲 |
| オプショナルセンサー | Vpp, Vdc 等 |
| 入力電圧 | 24 VDC |
| チューニング時間 | < 1 s プリセットポイントによる |
| チューニング範囲 | ユニット周波数と取り付けられているチューニングコイルによる |
Flyer
Synertia®
プラットフォーム
パンフレット
Cometの統合RF電力供給プラットフォームで、Synertia RFMとSynertia RFGのパワフルな相乗効果をご体感ください。
RF電源カタログ
RFに関するCometの専門技術と取り扱い製品に関する概要は、カタログにも記載されています。オンラインでご確認いただくか、印刷版をご注文ください。