Synertia® RF 電力供給プラットフォーム
Synertia®
RF ジェネレータ
独自のパフォーマンスアクセラレーター
ユーザーは再現性、マルチレベルパルス、高速通信など、Synertia®RFGの独自のパフォーマンスアクセラレータを完全に制御することができます。この応答性により、実用的な洞察が得られ、これまで以上に複雑なプラズマ応用が可能になり、新しいレベルでの高度な制御が実現します。このように、Synertia®による高速かつ俊敏な処理制御の結果、歩留まりの向上、優れた再現性、より速いチューニング、およびカスタム波形成形が実現します。
NEW!
27.12 MHz & 60 MHz Synertia® RF ジェネレータ
Synertia® RFG おすすめ商品
27.12 MHz Synertia® RF ジェネレータ
13.56 MHz Synertia® RF ジェネレータ
特長
- 全出力範囲にわたる出力精度（設定値の ±1%）
- 自動周波数調整（公称周波数の ±10%）
- 正確なパルス管理：パルス持続時間、デューティサイクル、
立ち上がり／立ち下がりスロープなど - シングルレベルおよびマルチレベルパルス
- レベルごとに独立した周波数調整
- 複数のアーク管理検出方法
- 電力効率 70% 以上
- ケーブル長に依存しない
- デジタル計測と直感的なグラフィカルユーザーインターフ ェース
- 高度な製造技術のためのデジタルシステム制御
- 幅広いインターフェースと通信プロトコル
利点
- 超高速のプラズマプロセス制御
- 一貫したウェーハレベルの均一性
- インピーダンス変化への迅速な追随
- マルチレベルパルシングを含むすべての動作モードで反射 電力を迅速に低減
- クローズループ出力制御と連動したアーク検出により、
ウェーハのスクラップを最小化 - 迅速なイベント解析とトラブルシューティング
- 顧客ツールへのシームレスな統合
RF パワー精度
公称周波数の ±10% 以内の高精度電力供給
マルチレベルパルス
インピーダンスの変化に素早く追随し、効果的な電力供給 を実現
Technical data
13MHzジェネレーターのデータ例
| Synertia® 15/13 | Synertia® 50/13 | |
| 周波数 | 13.56 MHz ± 10% | 13.56 MHz ± 10% |
| 出力電力 | 1.5 W to 1500 W | 5 W to 5000 W |
| 50 ΩへのRF精度 | 設定値 ± 1 % または ± 0.3 W のいずれか大きい方 | 設定値 ± 1 % または ± 1 W のいずれか大きい方 |
| パルスレート | 0.05 Hz to 100 kHz | 0.05 Hz to 100 kHz |
| パルス立ち上がり / 立り下り時間 | 320/240 ns | 650/240 ns |
| CEX | 400 kHz to 110 MHz | 400 kHz to 110 MHz |
| 周波数チューニング | 公称周波数 ± 10 %以内 | |
| インターフェース | EtherCAT®、RS232、RS-485、EtherNET®、 各種アナログ、デジタル I/O |
|
| RF output connector types | N, 7-16, HN, LC | |
パンフレット
Synertia®プラットフォーム
パンフレット
Cometの統合RF電力供給プラットフォームで、Synertia RFMとSynertia RFGのパワフルな相乗効果をご覧ください。
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