Synertia® RF 電力供給プラットフォーム
Synertia®
RF ジェネレータ
独自のパフォーマンスアクセラレーター
ユーザーは再現性、マルチレベルパルス、高速通信など、Synertia®RFGの独自のパフォーマンスアクセラレータを完全に制御することができます。この応答性により、実用的な洞察が得られ、これまで以上に複雑なプラズマ応用が可能になり、新しいレベルでの高度な制御が実現します。このように、Synertia®による高速かつ俊敏な処理制御の結果、歩留まりの向上、優れた再現性、より速いチューニング、およびカスタム波形成形が実現します。
NEW!
27.12 MHz & 60 MHz Synertia® RF ジェネレータ
13.56 MHz Synertia® RF ジェネレータ
機能
- 電力の精度と再現性
- マルチレベルパルス (ユーザー定義可能な4つのレベル)
- レベルごとにカスタマイズ可能な周波数チューニング
- 汎用性の高いアーク放電管理
- デジタル計測と直感的なGUI
- 高度な製造技術に適したデジタルシステム制御
メリット
- 処理システムへのシームレスな統合
- 超高速プラズマ処理制御
- より厳しい再現性による歩留まりの向上
- パルシングの立ち上がり/立ち下がり時間を高速に設定可能
- 安定したプロセスとウェーハレベルの均一性
Technical data
| Synertia® 15/13 | Synertia® 50/13 | |
| 周波数 | 13.56 MHz ± 10% | 13.56 MHz ± 10% |
| 出力電力 | 1.5 W to 1500 W | 5 W to 5000 W |
| 50 ΩへのRF精度 | 設定値 ± 1 % または ± 0.3 W のいずれか大きい方 | 設定値 ± 1 % または ± 1 W のいずれか大きい方 |
| パルスレート | 0.05 Hz to 100 kHz | 0.05 Hz to 100 kHz |
| パルス立ち上がり / 立り下り時間 | 320/240 ns | 650/240 ns |
| CEX | 400 kHz to 110 MHz | 400 kHz to 110 MHz |
| 周波数チューニング | 公称周波数 ± 10 %以内 | |
| インターフェース | EtherCAT®, RS232, RS485, analog | |
パンフレット
Synertia®プラットフォーム
パンフレット
Cometの統合RF電力供給プラットフォームで、Synertia RFMとSynertia RFGのパワフルな相乗効果をご覧ください。
RF 電源カタログ
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