独自のパフォーマンスアクセラレーター

ユーザーは再現性、マルチレベルパルス、高速通信など、Synertia®RFGの独自のパフォーマンスアクセラレータを完全に制御することができます。この応答性により、実用的な洞察が得られ、これまで以上に複雑なプラズマ応用が可能になり、新しいレベルでの高度な制御が実現します。このように、Synertia®による高速かつ俊敏な処理制御の結果、歩留まりの向上、優れた再現性、より速いチューニング、およびカスタム波形成形が実現します。

特長

• 全出力範囲にわたる出力精度（設定値の ±1%）
• 自動周波数調整（公称周波数の ±10%）
• 正確なパルス管理：パルス持続時間、デューティサイクル、
  立ち上がり／立ち下がりスロープなど
• シングルレベルおよびマルチレベルパルス
• レベルごとに独立した周波数調整
• 複数のアーク管理検出方法
• 電力効率 70% 以上
• ケーブル長に依存しない
• デジタル計測と直感的なグラフィカルユーザーインターフ ェース
• 高度な製造技術のためのデジタルシステム制御
• 幅広いインターフェースと通信プロトコル

利点

• 超高速のプラズマプロセス制御
• 一貫したウェーハレベルの均一性
• インピーダンス変化への迅速な追随
• マルチレベルパルシングを含むすべての動作モードで反射 電力を迅速に低減
• クローズループ出力制御と連動したアーク検出により、
  ウェーハのスクラップを最小化
• 迅速なイベント解析とトラブルシューティング
• 顧客ツールへのシームレスな統合

RF パワー精度

公称周波数の ±10% 以内の高精度電力供給

マルチレベルパルス

インピーダンスの変化に素早く追随し、効果的な電力供給 を実現

Synertia®プラットフォーム
パンフレット

Cometの統合RF電力供給プラットフォームで、Synertia RFMとSynertia RFGのパワフルな相乗効果をご覧ください。

RF 電源カタログ

CometのRFに関する専門技術と取り扱い製品をまとめたカタログをご用意しております。オンラインでご覧いただくか、印刷版をご注文ください。