最高速度でパワフルに
プラズマ制御

Synertia®はこれまでにない電力制御を可能にするCometの新しい統合RF電力供給プラットフォームです。このシステムによって複雑な多層構造の次世代および原子レベルのプラズマ処理を管理することができ、これはメモリとロジックマイクロチップの製造に不可欠です。CometのRF電力サブシステムによって実現するプラズマチャンバー内の破壊的加工技術により、ウェーハ処理ツールは未来の作業負荷に対応できるようになります。

Synertia® それは・・・

1 + 1 = 3

を実現する革新の力。

Synertia®はRFジェネレータとRF整合ネットワークの強力な相乗効果です。ジェネレータとマッチが独自の特許取得済み技術により、最大限の速さで相互作用します。これらによりこれまで以上に複雑なプラズマの応用が実現します。

Synertia®プラットフォームは、幅広い周波数と電力レベルのRFジェネレータとRF整合ネットワークで構成されています。