バッテリー

PECVD処理のRF電力により、次世代のバッテリーが実現します。薄膜バッテリーは、多くの場合、スパッタリングおよび熱蒸発などの半導体と同じ技術を使用して製造されています。材料を1層ずつ蒸着し、バッテリー部品を1つずつ組み立てます。