大きな負荷に対しても抜群の安定性を
発揮するよう設計されています
cito Plusは優れたパルス品質、安定性、および電力測定精度を提供します。プラズマデポジションおよびエッチングの他に、半導体以外のアプリケーションにも最適です。
- 高い生産性 － スループットと運用コストの削減に貢献
- 精度、再現性、安定性を重視 － お客様の処理条件に応えます
- より高い電力効率 － 優れた経済性と環境に優しい設計
特徴
- 対称なオープンループ応答
- 高精度な電力制御
- 最大 100 kHz のパルス
- 可変位相遅延を伴うCEX
- CEX出力周波数分割器
- SEMI規格準拠
メリット
- 予測可能なプラズマ挙動
- 簡単なシステム統合
- 再現性のあるウェーハ結果
- あらゆるケーブルの長さで安定
- あらゆる負荷に対して優れたパルス形状
- ほとんどの製造装置との世界的互換性
VSWR 3:1 条件下での電力供給性能
対象なオープンループ応答
アップグレードや交換の際は、
ぜひ cito Plus をご検討ください
- これまでのツールに比べて安定性が向上
- バイアスおよびソースに使用可能
プラグアンドプレイシステムで以下をご提供します
- 利用可能なインターフェース：アナログ, RS-232C, イーサネット, Profibus, 整合ネットワーク制御
- 同軸ケーブルの絶縁性 － 長さ調整不要 － 同じケーブルで使用可能
- 空冷, 冷却ラインなし
- 簡単で使いやすいフロントパネル制御またはパッシブパネル
- 広範囲のAC入力に対応、定格230 V AC 、単相
パンフレット
