Synertia® RF Generator
ユーザーは再現性、マルチレベルパルス、高速通信をはじめ、SynertiaRFGのユニークなパフォーマンスを完全に制御することができます。この応答性により実用的な分析が得られ、これまで以上に複雑なプラズマアプリケーションが可能になります。新次元の高度なコントロールが実現します。
Comet RF ジェネレータ製品ラインナップ
13 - 60
MHz の周波数
0.6 - 6
kW の出力
Cometはパルシングと高精度の出力制御を備えたフル機能のRFジェネレーターを提供しています。
- 高効率設計
- 最新のLDMOS技術
- 最大 100 kHz のパルス
- アクティブまたはパッシブのフロントパネル
- アナログとシリアルの通信オプション
- 200 VAC から 480 VAC までの入力電圧
- 位相同期可能なCEX送受信機
cito Plus
プラズマデポジションおよびエッチアプリケーションに最適
cito
処理制御に適した最も汎用性の高いオプション
Matched performance
整合とジェネレータを組み合わせたRF電力供給システム
