Flexible and affordable
- ノンクリティカル半導体、薄膜用途、および工業用途に適しています
- 調整可能なタップ設定で幅広い範囲のチューニングに対応
- コンパクト設計
- Cometのcito Plus RFジェネレータと互換性があります
- 優れたの費用対効果
ターゲット市場区分
- ソーラー
- R&D
- 半導体の設計と開発
- 大学研究機関 - 工業用コーティング
電力 |
周波数 |
冷却方式 |
RF 出力 |
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| W | 13 MHz | 27 MHz | 40 MHz | ||
| 1000 | X | X | X | 空冷 | 7/16 DIN, MC10, マウントバー |
| 2000 | X | 空冷 | MC10, マウントバー | ||
| 3000 | X | 空冷 | MC10, マウントバー | ||
| 5000 | X | 水冷 | MC10, マウントバー | ||
マッチング時の性能
AGS インピーダンス整合ネットワークと Comet cito Plus RF ジェネレータを組み合わせて、RF供給システムを構築できます。
高性能・高い信頼性・高精度のプラズマ処理制御を魅力的な価格でご案内します。
パンフレット
