PECVD-Prozesse mit Hochfrequenzanregung werden die nächste Generation von Batterien ermöglichen. Dünnschichtbatterien werden häufig mit denselben Techniken wie Halbleiter hergestellt, z. B. durch Sputtern und thermische Verdampfung. Die Materialien werden Schicht für Schicht abgeschieden, und die Batteriekomponenten werden Stück für Stück zusammengesetzt.
